光刻技术主要应用在微电子中。它一般是对半导体进行加工,需要一个有部分透光部分不透光的掩模板,通过曝光、显影、刻蚀等技术获得和掩模板一样的图形。先在处理过后的半导体上涂上光刻胶,然后盖上掩模板进行曝光;其中透光部分光刻胶的化学成分在曝光过程中发生了变化;之后进行显影,将发生化学变化的光刻胶腐蚀掉,裸露出半导体;之后对裸露出的半导体进行刻蚀,最后把光刻胶去掉就得到了想要的图形。光刻技术在微电子中占有很大的比重,比如微电子技术的进步是通过线宽来评价的,而线宽的获得跟光刻技术有很大的关系。光刻技术就是在需要刻蚀的表面涂抹光刻胶,干燥段尺后把图形底片覆盖其上,有光源照射,受光部分耐姿即可用药水洗掉胶膜,没有胶膜的部分即可用浓酸浓碱腐蚀表面。腐蚀好以后再洗掉其余的光刻胶昌燃绝。现在为了得到细微的光刻线条使用紫外线甚至X射线作为光源。
相关文章
-
准东经济技术开发区邮政编码
2023-04-25 23:36 阅读(634) -
学数控技术哪个学校好
2023-04-25 16:58 阅读(636) -
辽宁工程技术大学研究生分数线
2023-04-25 15:39 阅读(578)
1 技术服务费能免税么
655 阅读
2 什么是技能人才?什么是技术人员?
673 阅读
3 伊犁职业技术学院地址
571 阅读
4 邢台应用技术职业学院怎么样
625 阅读
5 大数据技术主要学什么
576 阅读