前三个峰是指用电子能谱分析样品表面时相应元素的含量。因为是表面分析,深度只有0.5~0.7nm,所以峰面积不是指样品中元素的总含量。
从结合能值和峰形来看,是三价Fe。2p3/2和2p1/2:2表示主量子数n=2,p表示l=1(s、p、d、f分别表示角量子数l=0、1、2、3)。原子中的电子既有轨道运动又有自旋运动。
功能与特点
(1)定性分析--根据测得的光电子动能可以确定表面存在哪些元素,
a.能够分析出了氢,氦以外的所有元素,灵敏度约0.1at%。空间分辨率为100um, X-RAY的分析深度在1.5nm左右。
b.相隔较远,相互干扰较少,元素定性的相邻元素的同种能级的谱线标识性强。
c.能够观测化学位移,化学位移配弯耐同原子氧化态、原子电荷和官能团有关。化学位移信息是利用XPS进行原子结构分析和化学键研究的基础。
(2)定量分析--根据具有某种能量的光电子的强度可知某种元素在表面的含量,误差约20%。既可测定元素的相对浓度,又可测定相同元素的不同氧培春化态的相对浓度。
(3)根据某元素光电子动能的位移可了解该元素所处的化学状态,有很强的化学状态分闹禅析功能。
(4)由于只有距离表面几个纳米范围的光电子可逸出表面,因此信息反映材料表面几个纳米厚度层的状态。
(5)结合离子溅射可以进行深度分析。
(6)对材料无破坏性。
(7)由于X射线不易聚焦,照射面积大,不适于微区分析。
(8)是一种高灵敏超微量表面分析技术,样品分析的深度约为20Å,信号来自表面几个原子层,样品量可少至10的-8次方g,绝对灵敏度高达10的-18次方g。