洁净度100级:大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L),大于等于5μm的尘粒数为0。
≥0.5μm;0.35粒/L<尘粒数≤3.5粒/L≥5μm;尘粒数=0
洁净搭缺拦度1000级:大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L),大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3(0.3粒/L)。≥0.5μm;0.35粒/L<尘粒数≤3.5粒/L≥5μm;知胡尘粒数=0
≥0.5μm;3.5粒/L<尘粒数≤35粒/L≥5μm;尘粒数≤0.3粒/L
洁净度10000级:大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3(35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L),大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于扮颂等于3000粒/m3(3粒/L)。
洁净度100000级:大于等于0.5μm的尘粒数大于350000粒/m3(350粒/L)到小于等于3500000粒/m3(3500粒/L),大于等于5μm的尘粒数大于3000粒/m3(3粒/L)到小于等于30000粒/m3(30粒/L)。
洁净度300000级:大于等于0.5μm的尘粒数大于3500000粒/m3(3500粒/L)到小于等于10500000粒/m3(10500粒/L),大于等于5μm的尘粒数大于30000粒/m3(30粒/L)到小于等于90000粒/m3(90粒/L)
≥0.5μm;3500粒/L<尘粒数≤10500粒/L≥5μm;尘粒数≤90粒/L